二氧化硅在集成电路制作过程中，可以阻止杂质扩散，同时提供了选择扩散的可能。另外二氧化硅是良好的绝缘体，在集成电路制作过程中，通常最后要将分散的二极管，三极管，电阻等元件用铝条连接起来，不需要连的地方，可以用二氧化硅盖起来。